準確度 | ΔY(ΔX,ΔZ)≤1.5 ΔX,Δy(Δz)≤0.015 |
穩定性 | ΔY≤0.15 |
重復性 | ΔE≤0.05 |
復現性 | ΔE≤0.25 |
疲勞特性 | ΔY≤0.15 |