аЯрЁБс>ўџ $&ўџџџ#џџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџьЅС'` №RПвbjbj"9"92@S@SiџџџџџџЄžžžžžžžВжжжж т В}ђњњњњњњњњohз :!žњњњњњžžњњ7јјјњвžњžњјњјјžžјњю €ГЌю…:ЮжЬјM0}ј ш ј žјњњјњњњњњшњњњ}њњњњВВВ$жВВВжВВВžžžžžžџџџџ BJQN-5A‹Wehh cІ^РhKmъN џehh cІ^ъNЇNСT(uџ (uŽNTЭyehhY—`0ЈR` cђfІ^„vKmЯ‘ џb'Y‹Wг~„gњ^Q{ir„vиSb_ЪS—ЈRMOћy„vРhKm0ћ|п~Ч‘(u5u`l›O5u0KmЯ‘О|І^иš0O(uЙeПO0Эd\O€{USяS`—0oіNЧ‘(uмƒUS_Эd\O џŸR§€:_'Y0 BJQN-5A‹Wehh cІ^РhKmъN џehh cІ^ъNЇNСTyrЙpџ Ч‘(uъ;NxбSиšb—5–CCD џяS Tіež[Аs$Nє~KmЯ‘  ЈR`Ч‘(uиšKmЯ‘Йe_ џ§€ gHe„vљ[г~„gž[АsЈR`KmЯ‘ Y—`KmЯ‘Ч‘(uYЙpъЈRп*ŽЙe_ џY—`п*ŽKmЯ‘ЙpяSО0R20*NЙpKNYџ ъNhVhš[Ч‘(uъЈRhš[Йe_ џO—_РhKmиS—_ЦQnxиšHe џаcиš†NKmЯ‘О|І^ ЈR`ŒTY—`KmЯ‘GWЧ‘(u$Nє~KmЯ‘Йe_ џKmЯ‘pencž[іe>f:yv^ъЈRнOX[ Ч‘(uрeП~eЇcv—h0v—h‰[Хˆ g'YЙ[Я‘яSEQ5u5u`l џ§€YнOС‹О‹Y•g3zš[„vKmЯ‘ BJQN-5A‹Wehh cІ^РhKmъN џehh cІ^ъN;N‰€b/gТSpeџ РhKmЙe_џIQ5uўVЯPеl РhKmнЛyџџ10^џ300 џmџ5u`lv— џ џ300^џ500 џmџЄNAmv— џ R Ј ‡sџKmЯ‘ƒєV„v10   KmЯ‘О|І^џБ0.03mmџ10mнЛyЈR`KmЯ‘ џ KmЯ‘ЙppeџЈR cІ^РhKmN*NЙp$N*NЙeTџ$Nє~ џ                 Y— cІ^РhKm N\ŽN20*NЙpџ$Nє~ џ Ч‘7h‘˜‡sџ100Hz х]\O)nІ^џ-20!^џ5 авїѕїю hЮ]&hЮ]&UhЮ]&hЮ]&o(вњgdЮ]&в§0!  јvљ[nІ^џd"80џ —b—'`§€џ(W NЇ~lQяа“е‹Œš16\іeT џck8^х]\O 5u`lŸR§€џ'YЙ[Я‘Ь‘5u`l›O5u џEQГ5u џяSоэ~х]\O12\іeхN N oіNŸR§€џяSBl cІ^g'YG\]ghnpqw{€‡‹ŒŽ—˜™›ЁЋВГШйсущъяѕњ§џ   &'>@DEfklmhkhkхЮ]&џ@i@@џџUnknownџџџџџџџџџџџџG‡z €џTimes New Roman5€Symbol3& ‡z €џArial;†‹[SOSimSun ёˆЄhd„Gd„G\ \ !-!),.:;?]}ЈЗЧЩ    & 6"0000 0 0 00000џџџ џ џџџџџ=џ@џ\џ]џ^џрџ([{З  0 0 00000џџ;џ[џсџхџ Дœ‚€rhhHX№џ?ЈџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџЮ]&2џџЎ_o(u7bЎ_o(u7bўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0\ˆœЈМШи ьј  $ 0<DLTЈ ЮЂШэгУЛЇNormal ЮЂШэгУЛЇ3Microsoft Office Word@@@щЭ…:Ю@@щЭ…:Ю\ ўџеЭеœ.“—+,љЎ0Д X`t|„Œ ”œЄЌЈ ЮЂШэжаЙњh'  ўџџџ ўџџџўџџџ !"ўџџџ§џџџ%ўџџџўџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџ РFpпГю…:Ю'€1Tableџџџџџџџџ WordDocumentџџџџџџџџ2SummaryInformation(џџџџDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџџџџџCompObjџџџџџџџџџџџџmџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџ џџџџ РFMicrosoft Office Word ЮФЕЕ MSWordDocWord.Document.8є9Вq